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MicroMachinition报告下载研讨会
抽象的
小型化是当天的顺序。直到最近十年前,传统上观看零件被认为是可以思考的微量组件。社会需求的最新变化已经强迫我们在娱乐电子产品开始是生物医疗植入物的不同领域中使用的多种微型组件。目前用于小型化的制造工艺是用于微电器机械系统(MEMS)的微型电子制造技术。所有这些方法的限制是它们适用于产生2D图案,部分厚度非常低;说几微米,它们在诸如硅和晶体材料等材料上使用,而不是金属。小型化部件可能具有几毫米的整体尺寸,但可能有许多落入微米范围的特征。此外,我们需要许多这样的小型化部件可以具有3D型材,这也是由金属制成的许多领域,如航空航天到生物医疗应用。需要微型产品的新候选人是生物技术的提交。在医疗领域,通过医疗工具的小型化实现了没有疼痛的诊断和手术。 Micromachining is one of the key technologies that can enable the realization of all of the above requirements for microproducts and fields with such requirements are rapidly expanding. If complementary machining processes are developed to overcome the above shortcomings, metallic miniature devices will be economically feasible reality.
什么是微机械线技术?
微机器是用于制造大小的大小的基本技术,在1至500微米的范围内。他们的需要从科学和工程中各种设备的小型化,呼吁超精密制造和微制造。
微机器用于制造微通道和微槽(参见图)微型流体应用,微滤器,药物递送系统,微针和生物技术应用中的微探针。微加工组件对于微机电系统(MEMS),微电子(半导体器件和集成电路技术)和纳米技术的实际进步至关重要。

在过去的几十年中,微机器已经大大发展,包括各种技术,广泛分类为基于掩模和基于刀具的,如下图所示。

微机械的应用
•微铣削
•微型研磨
•化学蚀刻
•微冲压
•制造注射喷嘴,微外科工具,VLSI电路
Micromilling和MicroGrinding
微磨和微炸液能够为实际应用的实用应用尺寸几十微米的制造孔,当使用微终端磨机代替微米时,可以制造其他类型的产品,例如凹槽,空腔和3D凸形形状。在这种情况下,加工力对精度产生更大的影响,因为力的主方向垂直于工具轴。